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分辨率 um 5重复精度 um 5 作速度 m/min 25 光栅栅距 mm 0.02 工作电压 V +24 零位参考点 mm 50 信号线长度 m 3
四、光学尺9PD接角图：脚号 信号 1 +24V 2 0V 3 A项4 B项 5 RI项原点(选)
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